FFU風機過濾機組使用維護說明書
????????????????????????????執(zhí)行標準：Q/320500BSK 010-2004
安裝?使用?維護說明書
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目????錄
1.????概述
1-1風機過濾器單元………………………………………………………………………………………………………………?3
1-2結(jié)構(gòu)及特點…………………………………………………………………………………………………………………….?4
2.????重要安全事項
2-1安裝使用環(huán)境………………………………………………………………………………………………………………….?5
2-2運送與安裝…………………………………………………………………………………………………………………….?5
2-3安裝?使用注意事項……………………………………………………………………………………………………….?5
3.????使用說明
3-1運轉(zhuǎn)前點檢事項………………………………………………………………………………………………………………?6
3-2運轉(zhuǎn)時注意事項………………………………………………………………………………………………………………?6
4.????維護說明
4-1日常維護………………………………………………………………………………………………………………………..?7
4-2定期維護………………………………………………………………………………………………………………………..?7
4-3故障排除………………………………………………………………………………………………………………………..?8
? ? ?附錄……………………………………………………………………………………………………………………?9
| 本說明書內(nèi)容包含風機過濾器單元的安裝?使用?維護?方法，本機體是安裝在潔凈區(qū)域天花板上，藉由濾網(wǎng)捕捉室內(nèi)空氣中的塵埃，為能平穩(wěn)且安全地發(fā)揮機體性能，使用前請詳細閱讀此說明書。 |
| 1.概述 |
1-1風機過濾器單元
風機過濾器單元（FFU）是一種自帶動力、具有過濾功效的模塊化的末端送風裝置。
風機從FFU頂部將空氣吸入并經(jīng)HEPA過濾，過濾后的潔凈空氣在整個出風面以0.45m/s±20%的風速均勻送出。廣泛用于半導(dǎo)體、液晶制造業(yè)、電子、生物制藥.等行業(yè)。
●使用環(huán)境
?周圍溫度：5℃～40℃
?濕度：低于85%RH(沒有濕氣凝結(jié)狀態(tài)下)
?周圍空氣：一般室內(nèi)空氣
?清凈度：100-10級
?請避免連續(xù)反復(fù)ON/OFF操作機體
如果在未符合上述條件的環(huán)境下使用風機濾網(wǎng)機組，將會影響制品性能，并可能會發(fā)生電氣短路現(xiàn)象，造成電氣部件損壞，縮短制品使用壽命。
為能安全且有效地使用風機過濾器單元請參閱第4頁的?重要安全事項?。
1-2結(jié)構(gòu)及特點
(1)?主要部件
FFU風機過濾機組結(jié)構(gòu)” alt=”FFU風機過濾機組結(jié)構(gòu)” />
圖1??標準品范例
(2)?表1.?部件明稱及功能(參考圖1)
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No. |
部?品?名?稱 |
功????????????用 |
備??注 |
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1 |
初效濾網(wǎng) | 可有效攔截粒徑≥5um的灰塵 | 根據(jù)環(huán)境可用可不用 |
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2 |
外殼 | 設(shè)備外殼 |
可選優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑,鍍鋅鋁鋼板,鋁板及不銹鋼板等材料 |
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3 |
把手 | 方便搬運 |
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4 |
吊環(huán) | 機體吊裝 |
選配件 |
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5 |
導(dǎo)流消聲裝置 | 引導(dǎo)氣流及消除噪聲 |
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6 |
風機系統(tǒng) | 為設(shè)備提供動力 |
風機選用美日合資M-R電機 |
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7 |
高效濾網(wǎng) | 可過濾微小粒徑的灰塵
效率99.99%@ 0. 3um |
可選各種效率的濾網(wǎng) |
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8 |
控制系統(tǒng) | 調(diào)速及開關(guān)電源 |
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| 2.重要安全事項 |
不當使用風機過濾器單元組將會造成制品性能降低，使用時請務(wù)必遵守下列事項：
2-1?安裝使用環(huán)境
●風機過濾器單元的安裝應(yīng)遠離加熱器、火爐或其它熱源。
●?設(shè)置風機過濾器單元場所不可放置易燃物，以免發(fā)生火災(zāi)。
●?請勿在機體附近使用具爆炸性或揮發(fā)性的化學物品，如果機體吸入這些化學物品將有可能會導(dǎo)致火災(zāi)或爆炸等事故發(fā)生。
●?請勿于機體附近使用含硫酸、鹽酸、漂白劑及其它具腐蝕性化學藥品，如果使用這些化學藥品將有可能會導(dǎo)致機體腐蝕及損壞。
2-2?運送與安裝
●?請在風機過濾器單元包裝完好的狀態(tài)下搬運制品，搬運時務(wù)必保持水平，如果使用輕便推車等工具運送時，請選用車臺超過機體包裝寬度的推車。
●?機體安裝后，機體上方至少須預(yù)留30公分以上的空間，以利將來機體維修，未預(yù)留足夠的維修空間，機體將無法進行維修及部件更換。
●?試運轉(zhuǎn)前，請先拆除吸入口上及均流板下附著的保護膜。
?
2-3?安裝?使用注意事項
●風機過濾器單元安裝于無塵室時，請務(wù)必遵守下列指示
?當進入無塵室時
請穿著防塵衣以免攜帶灰塵進入室內(nèi)。
請以酒精清理工具以免攜帶灰塵進入室內(nèi)。
請以酒精清理衣柜未保護處以免攜帶灰塵進入室內(nèi)。
點檢時請使用防塵紙及原子筆作記錄以免再產(chǎn)生灰塵。
●?切勿直接重壓風機過濾器單元機體，以免造成機體變形。
●?請勿以沾濕的手操作機體，以免發(fā)生觸電危險。
●?請勿遮蔽機體吸入口及吹出口，機體吸入口及吹出口被遮蔽，將導(dǎo)致機體性能無法正常發(fā)揮，造成機體功能異?；螂姎獠考p壞。
●?實施第三種接地工事，以避免電擊產(chǎn)生之危險。
| 3.安裝使用 |
?
3-1運轉(zhuǎn)前檢查事項
運轉(zhuǎn)前請先檢查下列注意事項：
●?機體外部電源是否連接，電源供應(yīng)是否妥當。
●?機體接地工事是否已實施。
●?機體上方空氣吸入口及下方濾網(wǎng)的保護膜是否已取下。
3-2運轉(zhuǎn)時注意事項
(1)?開始運轉(zhuǎn)
●?當電源開啟后，機體即開始運轉(zhuǎn)。
●?機體運轉(zhuǎn)后請確認是否有異常現(xiàn)象。
當有下列情形發(fā)生，機體無法正常運轉(zhuǎn)時，請向經(jīng)銷服務(wù)人員反映。
●?機體內(nèi)部有異物，機體離心風扇無法正常旋轉(zhuǎn)。
●?機體內(nèi)部電線脫落，接頭松脫。
●?機體內(nèi)部電氣部件，如過電源插頭、馬達損壞。
(2)?停止運轉(zhuǎn)
●?運轉(zhuǎn)后如發(fā)現(xiàn)異常現(xiàn)象，請即切斷電源，停止機體運轉(zhuǎn)。
| 4.維修?點檢 |
●?自購買日起進行定期檢查，請勿自行檢查，以免造成觸電或火災(zāi)等事故發(fā)生。
●?除了維修人員外，請勿自行拆解、修理或變更規(guī)格，以免造成觸電或火災(zāi)的發(fā)生。
●?當更換濾網(wǎng)等部件時，請注意不要損壞濾紙。
●?維修?點檢時，請務(wù)必先切斷電源，停止機器運轉(zhuǎn)后再實施，以免發(fā)生觸電或傷害危險。
●?當安裝?維修?點檢完成后，在機體起動前，請確定機體基礎(chǔ)穩(wěn)固。
4-1日常維護
每天工作開始之前請依表2.點檢下列各項，當發(fā)現(xiàn)有不正常的情形，立即切斷電源并采取改正措施。
表2.?日常維護
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NO. |
點檢專案 |
判斷標準 |
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1 |
離心風扇及馬達 | ?離心風扇必須旋轉(zhuǎn)平順，沒有產(chǎn)生異常聲音，若聽到異常聲音，請確認送風機內(nèi)有無異物以及馬達軸承的聲音是否異常，若馬達有問題，請更換馬達。 |
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2 |
濾網(wǎng) | ?濾網(wǎng)表面有無損傷、污點、骯臟….等 |
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3 |
機體外觀 | ?機體外觀有無損傷 |
4-2定期維護
使用風機過濾器單元一段時間后，因使用環(huán)境及使用狀況之差異，為了防止意外及確保風機過濾器單元的正常運轉(zhuǎn)，請務(wù)必實施下列定期點檢。
4-2.1定期維護
(1)定期維護項目
請依表3.所示，對風機過濾器單元實施定期點檢，當部件壽命已至時，請立即進行部件更換。(部件壽命指一般使用狀況下之壽命，會因使用環(huán)境及使用狀況而有所差異)。
(2)當由于不可抗力(如地震、電擊…..等)或化學藥品的泄漏(腐蝕氣體…..等)意外發(fā)生，停機再啟動后，請務(wù)必實施相同的檢查。
表3.?定期維護項目
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部件位置 |
征兆及可能原因 |
評價標準，確認點 |
檢查頻率 |
部件壽命 |
| 馬達 | (1)軸承損壞而使馬達運轉(zhuǎn)不平順或死鎖。
(2)絕緣不良造成過熱、過載導(dǎo)致線圈燒損。 (3)電源連接或端子的絕緣不良，而造成異常發(fā)熱、接地錯誤、層間短路…..等。 |
?確認馬達有無異音、振動及味道，用耳朵確認軸承有無異常聲音。
?絕緣阻抗須大于5MΩ以上。 ?檢查電纜線及端子有無破損或銹蝕，更換不良部件。 |
一年一次 |
5年以上 |
| 離心風扇 | (1)因灰塵迭積或破損使得運轉(zhuǎn)不平衡而損壞。 | ?檢查離心風扇有無異音、振動及破損，更換不良部件。 | 一年一次 |
5年 |
| 其它的電氣部件及配線材料 | (1)絕緣不良，端子螺絲松脫而造成過熱、短路或燒損。
(2)配線表皮破損而造成短路、漏電或損傷。 |
?檢查有無過熱、銹蝕、暴露的導(dǎo)體，配線表皮破損…..等。
?絕緣阻抗須大于5MΩ以上。 ?鎖緊端子螺絲(每三年一次)更換不良部件。 |
一年一次 |
5年 |
| 濾網(wǎng) | (1)因阻塞而造成風速減低。
(2)因化學藥品而造成濾網(wǎng)材質(zhì)、迫緊、阻隙材不良而使灰塵泄漏。 (3)因外部熱源造成濾網(wǎng)材質(zhì)不良。 |
?目視檢查濾網(wǎng)材質(zhì)、迫緊、阻隙有無刮傷、褪色、變形。
?檢查泄漏更換不良部件。 |
一年一次 |
?(視不同使用場所需要而定) |
| 外箱
及其它組件 |
因化學藥品而使部件腐蝕或生銹產(chǎn)生灰塵。
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?目視檢查部件有無不良、褪色….等。 | 一年一次 |
其它部件8年 |
表4消耗性部件的更換期間?(?我司建議?)
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部??品 |
更?換?期?間 |
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濾網(wǎng) |
1-2年(室內(nèi)清凈度100,000級的場所)??注 |
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初效濾網(wǎng) |
每3個月(不同場所而有所區(qū)別) |
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馬達 |
5年以上 |
注：濾網(wǎng)更換期間會因不同使用場所的差異而有所不同。
4.2.2點檢完成
點檢完成后，清潔工作場所及確認風機過濾器單元在正常運轉(zhuǎn)狀況；保留點檢報告，當部件更換或機體更新時作為參考。
4-3故障排除
?若有以下現(xiàn)象發(fā)生，連絡(luò)本公司并告知機身編號、機型、電壓及不良現(xiàn)象(盡可能詳細)，然后慎重的調(diào)查問題的起因及采取適合的改善措施。
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現(xiàn)????象 |
可??能??原??因 |
改??善??措??施 |
| 離心風扇不運轉(zhuǎn) | ?電源未打開
?馬達束心 ?電器件損壞 ?馬達不良 |
?打開電源
?拆除外表的異物 ?更換電器件 ?更換馬達 |
| 離心風扇產(chǎn)生異常者(運轉(zhuǎn)中) | ?馬達外殼與離心風扇接觸 | ?連絡(luò)經(jīng)銷商及采取適合的改善措施 |
●?非服務(wù)技術(shù)人員請勿拆解、修理或修改風機過濾器單元，以避免造成嚴重的意外，例如觸電或火災(zāi)。
| 附錄 |
易損件規(guī)格表：
| 序號 | 名稱 | 規(guī)格型號 | 單位 | 單臺數(shù) | 備注 |
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1 |
風機 | M-R風機 | 臺 |
1 |
保修期:三年 |
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2 |
電容 | 4uf,500V | 只 |
1 |
|
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3 |
玻纖無隔板過濾器 | 個 |
1 |
99.99%@o.3um | |
|
4 |
初效過濾器 | 個 |
1 |
可清洗 |
●?當需要更換服務(wù)備品時，請務(wù)必依本說明書中表1.所列之部件名稱提供予服務(wù)人員。
●?任何未經(jīng)認可之代用品，不僅可能會影響風機過濾器單元的性能，同時可能造成火災(zāi)、觸電或其它危險。
